晶盛機電：子公司自主研發(fā)的電池片設備出口海外客戶

晶盛機電近日在接受調(diào)研時表示，近日，子公司浙江晶盛光子科技有限公司自主研發(fā)的電池片設備成功出口海外客戶。此次晶盛光子出口海外的產(chǎn)品包括PECVD、LPCVD和管式低壓磷擴散爐三款最新設備。其中，PECVD設備獨特的細絲爐體設計，使效率分布更加收斂；LPCVD設備腔內(nèi)熱場分布更加均勻，Poly-Si沉積膜厚均勻性超業(yè)內(nèi)水平；管式低壓磷擴散爐創(chuàng)新應用了法蘭獨立水冷等設計，進一步改善了熱管理和氣流控制能力。這三款電池片設備此次出口海外，將在很大程度推動高效電池技術(shù)擴產(chǎn)。