界面新聞記者 | 江怡曼

3月10日上午，A股光刻機概念股逆勢活躍。截至上午收盤，海立股份再度漲停，茂萊光學(xué)、波長光電、炬光科技分別上漲9.1%、4.52%和4.14%。同時，上證指數(shù)和深證成指均出現(xiàn)下跌。

值得注意的是，這是海立股份再度漲停，該公司股票曾在3月3日、3月4日實現(xiàn)“兩連板”。

今年以來，光刻機概念指數(shù)接連上漲，同花順光刻機指數(shù)上漲13.98%。

據(jù)了解，光刻機是半導(dǎo)體制造過程中的核心設(shè)備，用于將電路圖案通過光學(xué)顯影技術(shù)轉(zhuǎn)移到硅片上，從而實現(xiàn)微小結(jié)構(gòu)的制造。它相當(dāng)于芯片制造的“打印機”，直接決定了芯片的工藝水平和性能。

2024年9月，工信部發(fā)布《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》，其中提到國產(chǎn)氟化氬光刻機的技術(shù)突破。這一進展標志著我國在中低端芯片制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了部分自主可控，提升了行業(yè)信心。同時，國家政策對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的支持，包括資金、稅收優(yōu)惠等，進一步推動了光刻機行業(yè)的發(fā)展。

近年來，我國在光刻機領(lǐng)域取得了顯著進展，打破了部分技術(shù)封鎖，實現(xiàn)了全流程國產(chǎn)化。國產(chǎn)光刻機的突破不僅減少了對外部供應(yīng)鏈的依賴，還為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善提供了基礎(chǔ)。

中信證券發(fā)布研報稱，國內(nèi)對于光刻機產(chǎn)業(yè)鏈的投資和支持力度持續(xù)加大，國產(chǎn)高端光刻機的發(fā)展有望獲得推動，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈將有望同步受益。未來若DUV及EUV設(shè)備逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化突破，國內(nèi)先進制程產(chǎn)線有能力逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代，有望迎來新一輪的半導(dǎo)體擴產(chǎn)周期。

該券商還表示，建議關(guān)注受到光刻機“卡脖子”問題影響的半導(dǎo)體制造、設(shè)備、零部件自主化替代的相關(guān)公司，尤其是光刻工藝相關(guān)的設(shè)備和零部件廠商。此外，受益于國產(chǎn)光刻機突破，未來國內(nèi)先進制程擴產(chǎn)有望加速。

興業(yè)證券發(fā)布研報稱，光刻機作為芯片制造光刻環(huán)節(jié)的核心設(shè)備，目前全球前道光刻機被ASML、尼康、佳能壟斷，實現(xiàn)光刻機的國產(chǎn)替代勢在必行，具有重大戰(zhàn)略意義。建議持續(xù)關(guān)注光刻機產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)零部件上市公司。