3月10日晚間，芯源微發(fā)布公告稱，持股5%以上的股東沈陽先進制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（簡稱“先進制造”）與北方華創(chuàng)簽署了《股份轉(zhuǎn)讓協(xié)議》，先進制造擬將其持有的1906.50萬股股份以88.48元/股的價格（合計約人民幣16.87億元)，轉(zhuǎn)讓給北方華創(chuàng)，占總股本的9.49%。
此外，持股5%以上的股東沈陽中科天盛自動化技術(shù)有限公司（簡稱“中科天盛”）擬通過公開征集轉(zhuǎn)讓方式協(xié)議轉(zhuǎn)讓其持有的全部股份1689.98萬股，占總股本的8.41%。
芯源微主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品以光刻工序涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備為主，覆蓋前道晶圓加工、后道先進封裝、化合物半導(dǎo)體等多個領(lǐng)域。
公告披露稱，北方華創(chuàng)將積極通過參與公開掛牌競買等方式繼續(xù)增持芯源微股份并取得對公司的控制權(quán)。